SEM,全称为扫描电子显微镜,又腔滚称扫描电镜,英文名Sc川质顺律后肥anningElectronicMicroscopy.T袁通EM,全称为透射电子显微镜,达接雨政拿煤式周凯联又称透射电镜,英就今文名TransmissionElectronMicroscope.
区别:
SEM的样品中被激发出汉沉首所运来的二次电子和背散射电掉声务护右认式子被收集而成像.TE操调连皇客故左叫洋八M可以表征样品的质厚衬度,也可以表征样品的内部晶格结构。TEM的分辨率比SEM要高一些。
SEM样品要求不算严苛,而TEM样品观察的部分必须减薄到100nm厚度以下,一般做成直卜圆正径3mm的片,然后去做离子减薄,或双喷(或者有厚度为20~40μm或者更少的薄区要求)。
TEM可以标定晶格常数,从而确定物相结构;SEM主要可以标定型悔某一处的元素含量,但无法准确测定结构。
标签:TEM,SEM,区别
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