关于椭偏仪

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椭偏仪 应用

光谱型椭偏仪是一种用于探测波膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量设备。由于与样品非接触，对样品没有破坏且不需要真空，使得椭偏仪成为一种极具吸引力的测量设备。

椭偏仪可测的材料包括：

半导体、电介质、聚合物、有机物、金属、多层膜物质…

涉及领域有：

半导体、通讯、数据存储、光学镀膜、平板显示器、科研、生物、医药…

发展历史

早期的研究主要集中于偏振光及偏振光与材料相互作用的物理学研究以及仪器的光学...

http://baike.baidu.com/view/1669388.htm

椭偏仪12是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量仪器。由于测量精度高，适用于超薄膜，与样品非接触，对样品没有破坏且不需要真空，使得椭偏仪成为一种极具吸引力的测量仪器。

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